一种基于全无机钙钛矿薄膜的柔性多态阻变存储器及其一步溶液法制备方法

本发明提供了一种一步溶液法来制备基于全无机钙钛矿薄膜的柔性多态阻变存储器，器件的结构从下到上依次为柔性衬底、下电极、阻变存储层、上电极，属于非易失性存储器领域。本发明的步骤如下：步骤1、在柔性衬底上沉积金属导电薄膜作为下电极；步骤2、采用一步溶液法沉积全无机钙钛矿薄膜作为阻变存储层；步骤3、在阻变存储层的表面沉积圆形的上金属导电薄膜作为上电极。本发明提供了一种柔性阻变存储器的制备方法，通过一步溶液法沉积出高质量的无机钙钛矿薄膜，制备的器件具有很高的稳定性；通过控制饱和电流和截至电压，阻变器件呈现出多态特性；同时制备的柔性器件具有高的抗弯曲性和优异的电学性能。

《一种基于全无机钙钛矿薄膜的柔性多态阻变存储器及其一步溶液法制备方法》是一发明专利，专利号为 2019106764083，当前法律状态为已下证，由陕西科技大学提出申请，发明人为王红军;朱媛媛;程鹏伟，公开（公告）日期为2019-10-25，国际专利分类号（IPC）为 H01L45/00(2006.01)I，代理机构为西安西达专利代理有限责任公司61202，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：自动驾驶与智能车载系统。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明提供了一种一步溶液法来制备基于全无机钙钛矿薄膜的柔性多态阻变存储器，器件的结构从下到上依次为柔性衬底、下电极、阻变存储层、上电极，属于非易失性存储器领域。本发明的步骤如下：步骤1、在柔性衬底上沉积金属导电薄膜作为下电极；步骤2、采用一步溶液法沉积全无机钙钛矿薄膜作为阻变存储层；步骤3、在阻变存储层的表面沉积圆形的上金属导电薄膜作为上电极。本发明提供了一种柔性阻变存储器的制备方法，通过一步溶液法沉积出高质量的无机钙钛矿薄膜，制备的器件具有很高的稳定性；通过控制饱和电流和截至电压，阻变器件呈现出多态特性；同时制备的柔性器件具有高的抗弯曲性和优异的电学性能。

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